半導体/ディスプレイ | Autonics 日本

OHT(Overhead Hoist Transport)装置間の衝突を防ぎます。

※ OHT : 天井レールを通じて自動的にウェハーを持って運ぶ装置。

精密な温度制御が必要な熱処理装置で使用され、出力電流を正確に制御します。

セーフティグリップ型インエイブリングスイッチは、機器のメンテナンス時に危険源の中で作業を手動で制御でき、安全に作業することができます。

端子台を使用してディスプレイ露光機の主要装備の中間コントローラーとして設備を簡単かつ効率的に設置できます。

半導体/ディスプレイチラー装備内の温度制御用PLC出力モジュールに端子台を適用して多数の負荷を効率的に制御します。

ウェーハの平坦度を測定したり、ウェーハの有無の検出が可能です。

基板検出用光電センサはPCBローダ穴の影響を受けることなく安定的に基板を検出します。

PCB移送ラインでPCB基板内のダイオード及びコンデンサ色を判別します。

SSR端子台を用いてSMT装備内の負荷を安定的にスイッチングします。

緻密な温度制御が必要な熱処理装置に使用され、出力電流を正確に制御します。

セーフティドアロックスイッチを用い、装備内のアクチュエータ動作時にはドアロック状態を保持し、駆動が止まり安全確保されればドアを開けることができます。

非常停止スイッチを用い、緊急時に装備を停止することができます。

PCBローダ装備にフォトマイクロセンサを用い、移送トレイの位置を検出します。

実装完了のPCBをPusherを用い積載するBoat UnLoader装備に設置し、制御及びモニタリングを行います。

移送装備にクローズループステッピングシステムを適用し、ウェハカセットの移動及び位置を制御します。

変位センサによりロボット位置を制御する際、ロボット型ケーブルの適用により断線の心配なく制御が可能です。

セーフティドアロックスイッチを用い、装備内のアクチュエータ動作時にはドアロック状態を保持し、駆動が止まり安全確保されればドアを開けることができます。

高温環境のウェハベーキング工程でウェハ検出用途に使用します。

ドアが多い生産工程にセーフティ非接触スイッチSFNシリーズを用い、各ドアの開閉をモニタリングすることができます。

製品を吸着し移送する過程で、吸着時の真空エジェクタ圧力のモニタリングにPSSシリーズを使用します。

半導体部品移送ラインにビジョンセンサを用い、部品の有無や欠陥を確認します。